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日立展出1.9mm见方的LSI集成型压力会员
日期:2014年03月25日  文章点击数:

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    是利用LSI制造工艺把压力会员制造到LSI上形成的(参阅本站报道),与该公司此前发布的3.4mm见方的试制品相比,体积大幅缩小。该公司正在探讨利用150mm晶圆生产线的量产事宜。

    将尺寸由3.4mm见方缩小到1.9mm见方的理由有二。一是在LSI的正上方形成压力会员。原来的试制品虽然层积了LSI及压力会员,但由于要优先确立核心技术,因此为了不在LSI的正上方层叠压力 会员,只好沿水平方向错位形成。另一点是此次削减了压力会员部分留数字压力开关有的多余空间。留有空间的理由是为了配备压力会员以外的会员。

    另外,日立此次还介绍了可通过改变隔膜(承受压力后弯曲的薄膜部)尺寸,改变检测压力灵敏度的技术。利用该技术,可使集成型压力会员的设计及制造工艺实现标准化,还可将达到通用水平 的集成型压力会员应用于多种用途。

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